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气体静压主轴模态仿真分析及试验研究

王玉伟 吴东旭 索奇 肖北川 王辉

王玉伟, 吴东旭, 索奇, 肖北川, 王辉. 气体静压主轴模态仿真分析及试验研究[J]. 制造技术与机床, 2023, (2): 12-20. doi: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.002
引用本文: 王玉伟, 吴东旭, 索奇, 肖北川, 王辉. 气体静压主轴模态仿真分析及试验研究[J]. 制造技术与机床, 2023, (2): 12-20. doi: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.002
WANG Yuwei, WU Dongxu, SUO Qi, XIAO Beichuan, WANG Hui. Modal simulation analysis and experimental study of aerostatic spindle[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2023, (2): 12-20. doi: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.002
Citation: WANG Yuwei, WU Dongxu, SUO Qi, XIAO Beichuan, WANG Hui. Modal simulation analysis and experimental study of aerostatic spindle[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2023, (2): 12-20. doi: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.002

气体静压主轴模态仿真分析及试验研究

doi: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.002
详细信息
    作者简介:

    王玉伟,男,1989年生,硕士,工程师,研究方向为超精密关键功能部件设计及仿真分析。E-mail:wangyuwei3@gt.cn

    通讯作者:

    吴东旭,男,1985年生,博士,高级工程师,研究方向为超精密加工技术与装备。E-mail:wudongxu@jcs.gt.cn

  • 中图分类号: TG502

Modal simulation analysis and experimental study of aerostatic spindle

  • 摘要: 为准确获取气体静压主轴的动力学模态特性,分别建立主轴转子及主轴部件的有限元模型,对有限元模型中添加的弹簧及电机约束边界条件进行了研究,并分别对以上两个有限元模型进行模态计算。比较两种情况下的结构固有频率、振型趋势及各阶模态下的有效参与质量,分析主轴部件中的外壳对主轴转子模态参数的影响,其中仅保留主轴转子的前六阶固有频率为1.5 Hz 、277 Hz、279 Hz 、316 Hz、384 Hz、385 Hz,而主轴部件的前六阶固有频率为1.5 Hz 、259 Hz、270 Hz 、281 Hz、352 Hz、363 Hz,以上结果中均包含刚体模态及重根模态。两者比较结果表明主轴部件的固有频率因其质量的增加而有所降低,且主轴部件不再满足对称结构形式,因而相对于仅保留主轴转子重根模态的情况有所减弱。基于有限元仿真分析结果,进一步对主轴部件进行模态试验验证,通过仿真与试验对比,结果表明主轴转子的有限元仿真结果与试验测量结果更加贴近,其前三阶误差分别为0.6%、10.6%和2.6%。上述仿真边界条件的加载与计算过程及试验测试方法对进一步提高气体静压主轴模态参数仿真精度及修正动力学仿真模型提供了有益参考。

     

  • 图  1  主轴部件结构图

    图  2  主轴转子结构图

    图  3  弹簧加载图

    图  4  不同弹簧刚度下受力变形云

    图  5  加载修正后弹簧的主轴变形

    图  6  电机及气膜处边界约束情况

    图  7  主轴转子前六阶模态振型趋势

    图  8  主轴部件前六阶模态振型趋势

    图  9  主轴装配体传感器位置布置图

    图  10  现场测试试验

    图  11  保留的激励点及对应参考点的相干质量曲线

    图  12  激励点11对应的频响函数曲线

    图  13  激励点13对应的频响函数曲线

    图  14  激励点14对应的频响函数曲线

    表  1  不同弹簧刚度及受力下的总体计算刚度

    弹簧总数单个刚度
    /(N/μm)
    力方向变形
    /μm
    计算刚度
    /(N/μm)
    8180轴向0.19526
    径向0.38263
    90轴向0.38263
    径向0.77130
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    表  2  主轴转子仿真结果模态参数

    阶数固有频率
    /Hz
    参与系数有效质量
    XYZRXRYRZXYZRXRYRZ
    11.500001000000.990
    22770.02010.3000.00300.910.0700
    3279100.02000.310.9100.003000.07
    431601000000.990000
    53840.300.120.44010.0700.020.1500.76
    63850.1200.3100.440.0200.070.7600.15
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    表  3  主轴部件仿真结果模态参数

    阶数固有频率
    /Hz
    参与系数有效质量
    XYZRXRYRZXYZRXRYRZ
    11.500001000000.050
    225900.910.240000.250.150.0200
    327010000.050.20.2900000.01
    4281010.90.480000.290.120.0700
    535200.160.35100.01000.020.3200
    63630.3000.010.0110.0300000.4
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    表  4  传感器及激励点的位置与方向分布表

    位置传感器方向激励方向
    主轴部件1+Y1Y
    2Z2+Z
    3+X3+X
    轴瓦4+Y4Y
    5Z5+Z
    6+X6+X
    外壳左端
    及中间
    7+Y7Y
    8Z8+Z
    9+X9+X
    10+X10X
    11+X
    电机外套11+X12+Z
    13+X
    外壳右端12Y14+X
    13Z
    14+X15+Y
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    表  5  仿真与试验结果对比

    仿真结果/Hz试验结果/Hz与主轴转子的平均误差与主轴部件
    的平均误差
    阶次主轴转子主轴部件激励点11激励点13激励点14平均值
    1277~279259~270272.9278.2277.9276.30.6%4.5%
    2316281349.8349.4349.7349.610.6%24.4%
    3384~385352~363374.5374.9374374.42.6%4.7%
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  • 收稿日期:  2022-11-07
  • 录用日期:  2022-12-16

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